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上海半导体公司订购我司一批高温无氧洁净烘箱
收到一批上海半导体公司客户寄样的晶圆,实测我司半导体烘箱是否符合晶圆烘烤需求。
经现场实测:100L高温无氧洁净烘箱均匀性可达到 ±1%,氧含量低值10ppm以下,箱内实现百级洁净度,烘箱性能参数符合晶圆烘烤需求,并订购一批定制高温无氧洁净烘箱。
半导体烘箱一般包含:无氧烘箱、充氮烘箱、洁净烘箱、高温无氧洁净烘箱等。
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